鍛件的滲氮采用井式周期性爐為主，而且往往和大型井式滲碳爐合用，即滲碳滲氮二用爐。在制造滲碳爐時，可在此爐體上，再配上一套滲氮罐和專用爐蓋。這樣，由滲碳改用滲氮時，將滲碳內罐吊出，吊入滲氮罐即可進行滲氮。滲碳罐不能兼做滲氮用，因為滲碳罐壁上炭黑會嚴重影響滲氮正常進行。不銹鋼滲氮罐還要在滲氮時起催化作用。
滲氮設備除了加熱爐之外，還需要有送入氨氣和減壓干燥裝置，排氣出來的廢氣要通過一個測定爐內氨分解率的裝置，從而調整氨氣的供給量。
鍛件滲碳，以達到要求的滲層深度，滿意的表面碳濃度，良好的滲層碳濃度梯度為目的。而在滲碳過程中，工藝參數確定后，主要是滲碳過程中爐內碳勢、時間和溫度三個可控制因素。
溫度的控制對于熱處理是最為重要的，一般均采用接觸開關定溫式控制，這種控制方法控制反應滯后，控溫精度10℃左右，而現在國內外已廣泛采用晶閘管調節的控溫系統，它可以按比例調節輸入功率，使爐溫控制在1℃左右。
爐溫的均勻性對于大鍛件滲碳的質量保證十分重要。因為溫度的上下內外差太大，影響到滲碳中吸碳和擴散效果，也會帶來表面碳濃度和滲層深度等方面的不均勻。保證爐溫均勻性一方面靠爐子設計制造的質量和技術水平，另外也要靠控溫設備能最大限度地提高控溫精度。
滲碳過程的爐內碳勢是靠滲劑滴入量，幾種滲劑和稀釋劑的比例調節及爐內碳勢來控制的。對于疲勞性能和綜合性能要求越來越高的鍛件滲碳，應當定量地知道路內碳勢狀況，并且迅速計算出碳勢與滴入滲劑量的關系。控制和調整滴入的滲劑量和稀釋劑的量。同時根據傳遞系數和擴散系數，迅速計算出每一階層滲碳層碳濃度梯度和滲碳層深度。
滲氮爐類似于滲碳爐，都是采用在密封容器中加熱，通入滲劑，因此，也應基本具備下列幾個條件：密封性好，容器能保持一定的微正壓，并有容器作催化作用；氣體循環裝置，使容器內各部位溫度、氮勢均勻；有排出廢氣設施。
